ABC 乾粉噴射後如何清理?

 

有一天早上上班没多久,公司免付費客服電話 0800-711880 響起,拿起話筒,另一端傳來急促又透著緊張的年輕聲調:「我們的晶圓片 (Wafer) 烤箱 (Heat Oven) 起火,隨手拿了一具附近的 ABC 乾粉滅火器把火滅了,但是裡面的晶圓片沾滿了乾粉粉末,還有些好像塊狀的東西沾黏在晶圓片上,要怎麼清理乾淨?黏在上面的塊狀物可以清除嗎?用什麼清潔劑?」 還來不及回答,電話那一端的年輕工程師說:「一片晶圓要好幾千塊美金,烤箱裡面的那些晶圓片要怎麼辦?會全部報銷嗎?」

 

對於這位工程師的臨危不亂,反應機敏,拿了滅火器把火滅火了,也證明平時的消防訓練到位、確實,這家公司應該要表揚和大大地獎勵他,我是衷心地認為應該要這樣做。如果那位工程師因為那些被污染的晶圓片的損失而受到責備,那就太令人失望和沮喪了。

 

噴射時,微細粉末狀的 ABC 乾粉四處飛散。

 

滅火藥劑噴射後,微細的粉末除了散布在地上,瀰漫在空間中,也會沾附在周遭的物品上,侵入到任何細小的隙縫內,難以清理清除,特別是怕污染、高精密、高敏度的物品或設施造成二次損害和損壞,擴大火災或意外噴放的損失。

 

離題了,回到問題上,ABC 乾粉要如何清理?分成兩個部分處理:未受熱熔解的乾粉粉末和受熱熔解冷卻後的結塊,我是這麼先跟那位工程師說的,希望可以讓他那緊張又不安的情緒稍微平緩。接著向他說明處理的方法:

 

一、未受熱熔解的乾粉粉末

  1. 可以用乾掃的方式清理,動作應儘量放輕放小,避免微細的乾粉粉末 (平均粒徑約20微米) 揚起,也不要掃入其他的室內空間。
  2. 清掃時應配載適當的個人防護器具例如防塵面罩或全套式人工呼吸器。
  3. 市售的真空吸塵器可以用於清理戶外的ABC乾粉。但如果是在室內,務必使用具有高效率空氣微粒子過濾網 (HEPA) 的真空吸塵器,以避免將微細的乾粉粉末吹散而瀰漫在空氣中。清理乾粉時,須關斷空調系統或通排風設備,以避免乾粉被散播到其他的空間場所。
  4. 使用中性清潔劑、純淨水、電氣設備專用清潔液等清理清潔ABC乾粉是最後的方法,因為乾粉遇水會變成糊狀 (或膏狀)並具有腐蝕性,而且乾粉粉末滲入到設備的更內部或更微小的隙縫,增加清理清潔的困難度。
  5. ABC乾粉對於金屬性的表面具有非常明顯的腐蝕性,應該優先清理。如果是乾的金屬性表面,可以利用靜電布清除附著的乾粉。如果是濕的的金屬性表面,可以利用中性的清潔劑或純淨水清潔。
  6. 周圍的電氣(器)設備和電子設備也須要徹底地清理清潔,ABC乾粉雖然不可燃,但極易吸濕潮解,殘留的乾粉對電氣(器)設備和電子設備的日後正常運作會有不良的負面影響。
  7. 收集的ABC乾粉須封包,然後交由合格的廢棄物處理廠商依相關環境保護法規處理。不要任意棄置,也不要倒入衛生下水道和雨水排放管道,因為會污染河川溪流、水源和環境。

 

二、受熱熔解冷卻的結塊

  1. ABC乾粉在溫度149℃以上時會熔解,並黏附在物體表面上,即使冷卻後也 不會脫落。(聽到這麼回答,那位工程師的心情可能又沈重了。)
  1. 試著緩慢加熱到結塊軟化,利用軟性耐燃材質的工具將它刮除。
  2. 附著的塊狀物已經對物品的表面產生破壞,即使清除,物品例如晶圓片也有可能仍然須被汰除。
  1. 穿戴個人防護器具,避免接觸高溫而燒傷和燙傷。

 

年輕的工程師再三道謝後,掛斷電話。心想,希望對他解決面臨的問題有些幫助。

 

不管場所分類、使用用途、作業特性、產業類別、設備設施和容留人員的差異,一律設置ABC乾粉滅火器 (因為成本考量,便宜!),真的恰當嗎?事後面臨的損失或潛在傷害,是否也應該納入購置滅火器的重要因素之一?